제이오, 차세대 EUV 펠리클용 CNT 멤브레인 개발 착수

제이오, 차세대 EUV 펠리클용 CNT 멤브레인 개발 착수

제이오가 차세대 반도체 공정에서 핵심적인 역할을 할 EUV 펠리클용 CNT 멤브레인 기술 개발을 본격적으로 추진한다.